三豐MitutoyoCS-5000CNC表面粗糙度儀
産品特點：
•高(gāo)精度觸針型CNC表面測量儀可(kě)以同時進行表面粗糙度和(hé)形狀/輪廓的(de)測量。
•X1軸和(hé)Z2軸的(de)大驅動速度分别為(wèi)40mm/s和(hé)200mm/s，可(kě)以高(gāo)速定位，從而提高(gāo)了多重輪廓/多工件測量的(de)效率。
•X1 軸和(hé)Z1 軸上裝有三豐激光全息光栅尺，從而可(kě)以實現高(gāo)分辨力的(de)輪廓/ 形狀測量、表面粗糙度的(de)批量測量。
•Z1軸檢出器采用主動控制方式，減少Z1軸動态測力變化的(de)同時擴展了測量範圍。
•Z1軸檢出器集成了防碰撞安全裝置，當儀器主體與工件或夾具發生碰撞時，檢測裝置可(kě)以自(zì)動停止工作。
•CS-5000CNC帶有a軸，可(kě)以通過電動旋轉X1軸連續測量水平面和(hé)傾斜面。
•帶有Y軸工作台的(de)型号，可(kě)沿Y軸進行多工件定位，從而增加了多工件測量範圍。
•可(kě)選的(de)外部控制功能(外部I/O)，與PLC實現雙向通信(RS-232C)。
三豐MitutoyoCS-5000CNC表面粗糙度儀
技術參數：
貨号 | CS-5000CNC | CS-H5000CNC | ||
X1 軸 | 測量範圍 | 200mm | ||
分辨力 | 0.00625µm | |||
長(cháng)度基準 | 激光全息測微計 | |||
驅動速度 | CNC型 | 大40mm/s | ||
操縱杆 | 0 - 40mm/s | |||
測量速度 | 0.02 - 0.2mm/s (表面粗糙度), 0.02 - 2mm/s (形狀/輪廓) | |||
測量方向 | 向前/ 向後 | |||
直線度 | (使用标準測針) | (0.1+0.0015L)µm L: 驅動長(cháng)度 (mm) | (0.05+0.0003L)µm L: 驅動長(cháng)度 (mm) | |
(使用二倍長(cháng)型測針) | (0.2+0.0015L)µm L: 驅動長(cháng)度 (mm) | (0.1+0.0015L)µm L: 驅動長(cháng)度 (mm) | ||
精度 (20ºC) | ±(0.3+0.002L)µm L: 驅動長(cháng)度 (mm) | ±(0.16+0.001L)µm L: 驅動長(cháng)度 (mm) | ||
Z1 軸 (檢出器) | 測量範圍 | (使用标準測針) | 12mm | 12µm |
(使用二倍長(cháng)型測針) | 24mm | 24µm | ||
分辨力 | (使用标準測針) | 0.004 µm | 0.001 µm | |
(使用二倍長(cháng)型測針) | 0.008 µm | 0.002 µm | ||
測針針尖垂直運動 | 弧形移動 | |||
長(cháng)度基準 | 激光全息測微計 | |||
精度 (20ºC) | (20ºC) ±(0.3+|0.02H|)µm H: 測量高(gāo)度 (mm) | ±(0.07+|0.02H|)µm H: 測量高(gāo)度 (mm) | ||
測力 | (使用标準測針) | 4mN (固定) | ||
(使用二倍長(cháng)型測針) | 0.75mN(固定) | |||
跟蹤角度 | 向上: 60º, 向下: 60º, (根據表面粗糙度) | |||
測針針尖形狀 | 标準測針 | 針尖角度: 40º, 針尖半徑: 5µm, 金剛石針尖 | ||
标準球頭測針 | 球頭針尖半徑: 0.25mm, 藍寶石 2倍測針 | |||
2倍測針 | 針尖角度: 40º, 針尖半徑: 5µm, 金剛石針尖 | |||
2倍測針 | - | 針尖角度: 60º, 針尖半徑: 2µm, 金剛石針尖 2倍球頭測針 | ||
2倍球頭測針 | 球頭針尖半徑: 0.25mm, 藍寶石 | |||
測針方向 | 向下 | |||
Z2 軸 (立柱) | 行程範圍 | Z2 軸 (立柱, S 型) | 300mm | |
Z2 軸 (立柱, H 型) | 500mm- | |||
分辨力 | 0.05µm | |||
長(cháng)度基準 | 反射型線性編碼器 | |||
驅動速度 | CNC型 | 大200mm/s | ||
操縱杆 | 0 - 50mm/s | |||
基座尺寸 (W×D) | 750×600mm | |||
